国产午夜在线观看视频-国产午夜在线观看-国产午夜永久福利视频在线观看-国产午夜影院-国产午夜一区二区在线观看-国产午夜亚洲精品一区网站

歡迎光臨天津聯科思創科技發展有限公司網站!
銷售咨詢熱線:
15822721002
您的位置: 網站首頁 > 技術文章 > Proportionair比例閥在半導體行業應用——CMP拋光力控制

Proportionair比例閥在半導體行業應用——CMP拋光力控制

發布日期: 2022-05-18
瀏覽人氣: 4936

被稱為化學機械平面化(CMP) 的工藝通常用于半導體行業,將硅晶片拋光成可用于硬盤驅動器和其他計算機組件的產品。CMP拋光力控制是CMP工藝的重要組成部分。如果在整個拋光過程中施加的力不一致且不可重復,則晶圓會損壞——生產這些晶圓的過程非常昂貴。

 

半導體晶圓經過研磨和拋光至鏡面光潔度。通常使用低摩擦力或無摩擦力的氣缸來實現最佳的力控制。QPV2電子控制閥用于控制拋光滾筒上的力。滿量程校準的 ±0.005% 的分辨率允許力的微小變化。滿量程 ±0.02% 的可重復性確保始終使用相同的命令信號產生相同的力。來自下游壓力的模擬監測信號輸出在QPV2的主電氣連接器上可用,可用于持續數據采集。



分享到:
主站蜘蛛池模板: 永平县| 和田市| 巢湖市| 措美县| 淅川县| 疏附县| 伊金霍洛旗| 镶黄旗| 广丰县| 益阳市| 宁陕县| 九龙坡区| 什邡市| 海原县| 新竹市| 仁寿县| 新巴尔虎右旗| 红安县| 农安县| 金乡县| 舞阳县| 灯塔市| 贡觉县| 木里| 文水县| 利津县| 天水市| 沿河| 定兴县| 万山特区| 乌苏市| 麻城市| 合肥市| 阿城市| 皮山县| 罗定市| 噶尔县| 治多县| 崇信县| 依安县| 黔西县|